La photolithographie est un procédé de transfert d'images binaires qui peut être utilisé pour améliorer de nombreuses applications de microfabrication.
Catégorie : Photolithographie
La gravure humide est une technique qui permet de modeler des films métalliques pour en faire des dispositifs fonctionnels. Un film métallique recouvert d'une résine photosensible est immergé dans un liquide qui enlève sélectivement les zones exposées du métal. Cette forme de gravure est une méthode isotrope, ce qui signifie que le métal est enlevé à la même vitesse dans toutes les directions.
Les industries dans lesquelles les nanoparticules peuvent interférer avec les processus de fabrication doivent utiliser une salle blanche pour maintenir la plus grande précision. Les salles blanches contrôlent l'humidité, la contamination, la température et la pression des installations.
Les couches minces structurées ont eu un impact énorme sur la technologie moderne et, bien que les éléments semi-conducteurs occupent généralement le devant de la scène, les surfaces métalliques ont joué un rôle crucial dans diverses applications avancées telles que la caractérisation des matériaux, les biocapteurs, les capteurs chimiques et les systèmes microélectro-mécaniques (MEMS).
La photolithographie est une technique de microfabrication importante utilisée pour modeler des substrats pour l'électronique moderne, les capteurs et la microfluidique. Il s'agit d'une forme précise de fabrication de surfaces personnalisées où l'interface d'une plaquette est recouverte d'un polymère sensible à la lumière appelé résine photosensible. La plaquette revêtue est ensuite exposée à la lumière qui est sélectivement atténuée par un masque, laissant derrière elle une image latente qui est gravée chimiquement, physiquement ou optiquement pour fournir un motif micro-structuré permanent sur la surface de la plaquette. Associée à des techniques de dépôt et de gravure de métaux, la photolithographie est une méthode polyvalente de fabrication de microstructures pour l'optique, les biocapteurs et les dispositifs microfluidiques.
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