La fotolitografía es un proceso binario de transferencia de imágenes que puede utilizarse para mejorar muchas aplicaciones de microfabricación.
Categoría: Fotolitografía
El grabado húmedo es una técnica que permite crear dispositivos funcionales a partir de películas metálicas. Se sumerge una película metálica recubierta de un material fotorresistente en un líquido que elimina selectivamente las zonas expuestas del metal. Esta forma de grabado es un método isotrópico, lo que significa que el metal se elimina con la misma velocidad en todas las direcciones.
Las industrias en las que las nanopartículas pueden interferir en los procesos de fabricación necesitan utilizar una sala blanca para mantener la máxima precisión. Las salas blancas controlan la humedad, la contaminación, la temperatura y la presión de las instalaciones.
Las películas finas estampadas han tenido un enorme impacto en la tecnología moderna y, aunque los elementos semiconductores suelen acaparar la atención, las superficies metálicas han desempeñado un papel crucial en diversas aplicaciones avanzadas como la caracterización de materiales, los biosensores, los sensores químicos y los sistemas microelectromecánicos (MEMS).
La fotolitografía es una importante técnica de microfabricación utilizada para crear patrones de sustratos para la electrónica moderna, los sensores y la microfluídica. Se trata de una forma precisa de fabricación de superficies personalizadas en la que la interfaz de una oblea se recubre con un polímero sensible a la luz conocido como fotorresistencia. A continuación, la oblea recubierta se expone a la luz, que es atenuada selectivamente por una máscara, dejando tras de sí una imagen latente que se graba química, física u ópticamente para crear un patrón microestructurado permanente en la superficie de la oblea. Junto con las técnicas de deposición y grabado de metales, la fotolitografía es un método versátil para fabricar microestructuras para óptica, biosensores y sensores químicos, y dispositivos microfluídicos.
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