Photolithographie ist ein binäres Bildübertragungsverfahren, das zur Verbesserung zahlreicher Mikrofertigungsanwendungen eingesetzt werden kann.
Kategorie: Fotolithografie
Das Nassätzen ist eine Technik zur Strukturierung von Metallschichten zu funktionalen Bauteilen. Ein Metallfilm, der mit einem strukturierten Fotolack bedeckt ist, wird in eine Flüssigkeit getaucht, die die freiliegenden Bereiche des Metalls selektiv entfernt. Bei dieser Form des Ätzens handelt es sich um ein isotropes Verfahren, d. h. das Metall wird in alle Richtungen mit gleicher Geschwindigkeit abgetragen.
Industriezweige, in denen Nanopartikel Fertigungsprozesse beeinträchtigen können, müssen einen Reinraum nutzen, um die größtmögliche Genauigkeit zu gewährleisten. In Reinräumen werden Feuchtigkeit, Verschmutzung, Temperatur und Druck in den Einrichtungen kontrolliert.
Gemusterte dünne Schichten haben einen enormen Einfluss auf die moderne Technologie, und obwohl Halbleiterelemente typischerweise im Rampenlicht stehen, haben Metalloberflächen eine entscheidende Rolle in verschiedenen fortschrittlichen Anwendungen wie Materialcharakterisierung, Biosensoren, chemische Sensoren und mikroelektromechanische Systeme (MEMS) gespielt.
Die Fotolithografie ist ein wichtiges Verfahren der Mikrofertigung, mit dem Substrate für moderne Elektronik, Sensoren und Mikrofluidik strukturiert werden. Es handelt sich um eine präzise Form der kundenspezifischen Oberflächenherstellung, bei der die Oberfläche eines Wafers mit einem lichtempfindlichen Polymer, dem sogenannten Photoresist, beschichtet wird. Der beschichtete Wafer wird dann Licht ausgesetzt, das durch eine Maske selektiv abgeschwächt wird und ein latentes Bild hinterlässt, das chemisch, physikalisch oder optisch geätzt wird, um ein dauerhaftes mikrostrukturelles Muster auf der Oberfläche des Wafers zu erzeugen. In Verbindung mit Metallabscheidung und Ätztechniken ist die Fotolithografie ein vielseitiges Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen für die Optik, chemische und biologische Sensoren und mikrofluidische Geräte.
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